Η τεχνολογία μικροκατεργασίας είναι μια πολύ ευέλικτη διαδικασία, η οποία μπορεί να παράγει μικροεξαρτήματα με πολύπλοκα σχήματα. Επιπλέον, μπορεί να εφαρμοστεί σε μεγάλη γκάμα υλικών. Η προσαρμοστικότητά του το καθιστά ιδιαίτερα κατάλληλο για γρήγορη λειτουργία από την ιδέα έως το πρωτότυπο, την κατασκευή πολύπλοκων τρισδιάστατων δομών και τον επαναληπτικό σχεδιασμό και ανάπτυξη προϊόντων,
1. Τεχνολογία φυσικής μικροκατεργασίας
Επεξεργασία δέσμης λέιζερ: μια διαδικασία επεξεργασίας που χρησιμοποιεί τη θερμική ενέργεια που καθοδηγείται από τη δέσμη λέιζερ για την αφαίρεση υλικών από μεταλλικές ή μη μεταλλικές επιφάνειες. Είναι πιο κατάλληλο για εύθραυστα υλικά με χαμηλή αγωγιμότητα, αλλά μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τα περισσότερα υλικά.
Επεξεργασία δέσμης ιόντων: μια σημαντική αντισυμβατική τεχνολογία κατασκευής για μικρο/νανοπαραγωγή. Χρησιμοποιεί την επιταχυνόμενη ροή ιόντων στον θάλαμο κενού για να αφαιρέσει, να προσθέσει ή να τροποποιήσει τα άτομα στην επιφάνεια του αντικειμένου.
2. Τεχνολογία χημικής μικροκατεργασίας
Χάραξη αντιδραστικών ιόντων (RIE): μια διαδικασία πλάσματος κατά την οποία οι ουσίες διεγείρονται από την εκκένωση ραδιοσυχνοτήτων για να χαράξουν υποστρώματα ή φιλμ σε θάλαμο χαμηλής τάσης. Είναι μια συνεργιστική διαδικασία χημικών δραστικών ουσιών και βομβαρδισμού ιόντων υψηλής ενέργειας.
Ηλεκτροχημική μηχανική κατεργασία (ECM): μέθοδος αφαίρεσης μετάλλων με ηλεκτροχημικές διεργασίες. Συνήθως χρησιμοποιείται για μεγάλης κλίμακας παραγωγή και επεξεργασία εξαιρετικά σκληρών υλικών ή υλικών που είναι δύσκολο να υποστούν επεξεργασία με παραδοσιακές μεθόδους. Η χρήση του περιορίζεται σε αγώγιμα υλικά. Η ECM μπορεί να κόψει μικρές ή ακανόνιστες γωνίες, περίπλοκα περιγράμματα ή κοιλότητες σε σκληρά και σπάνια μέταλλα.
3. Τεχνολογία μηχανικής μικροκατεργασίας
Τόρνευση διαμαντιών: η διαδικασία τόρνευσης ή κατεργασίας εξαρτημάτων ακριβείας με τόρνο ή παράγωγο μηχάνημα εξοπλισμένο με φυσικές ή συνθετικές μύτες διαμαντιού.
Φρεζάρισμα διαμαντιών: μια διαδικασία κοπής που μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τη δημιουργία μιας ασφαιρικής διάταξης φακών με κυκλική κοπή χρησιμοποιώντας ένα σφαιρικό εργαλείο διαμαντιού.
Τρίψιμο ακριβείας: λειαντική μηχανική κατεργασία που επιτρέπει στο τεμάχιο εργασίας να κατεργαστεί σε λεπτό φινίρισμα επιφάνειας και πολύ κοντινή ανοχή 0.0001 ".
Γυάλισμα: μια λειαντική επεξεργασία, η στίλβωση με δέσμη ιόντων αργού είναι μια αρκετά σταθερή διαδικασία, η οποία χρησιμοποιείται για το φινίρισμα των κατόπτρων τηλεσκοπίου και τη διόρθωση υπολειπόμενων σφαλμάτων μηχανικής στίλβωσης ή οπτικών συσκευών περιστροφής διαμαντιών. Η διαδικασία MRF είναι η πρώτη ντετερμινιστική διαδικασία στίλβωσης. Διατίθεται στο εμπόριο και χρησιμοποιείται στην παραγωγή ασφαιρικών φακών, ανακλαστών κ.λπ.
